Beim Auftreffen des Elektronenstrahls während der rasterelektronenmikroskopischen Analyse entsteht Röntgenstrahlung, die charakteristisch für die vom Elektronenstrahl getroffenen chemischen Elemente ist. Rastert man die Oberfläche eines Bauteils entlang einer Linie ab, so kann der für ein chemisches Element ermittelte Mengenanteil für jeden Punkt der Linie graphisch dargestellt werden. Hierzu können sowohl die Signale der REM/EDX- als auch der REM/WDX-Analyse verwendet werden (REM; REM/EDX; REM/WDX)

Typische Anwendungen:

• Analyse von Grenzflächen bezüglich der Bildung von intermetallischen Phasen und der wechselseitigen Eindiffusionstiefe von Elementen z.B. bei Löt- oder Schweißverbindungen, bei Feuerverzinkungen, Feuerverzinnungen, Galvanisch erzeugten Oberflächen mit nachgeschalteter Temperaturbehandlung u.v.m.

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