Beim Auftreffen des Elektronenstrahls während der rasterelektronenmikroskopischen Analyse entsteht Röntgenstrahlung, die charakteristisch für die vom Elektronenstrahl getroffenen chemischen Elemente ist. Rastert man die Oberfläche eines Bauteils Punkt für Punkt ab, so kann für jeden Punkt die chemische Zusammensetzung ermittelt werden. Weist man den unterschiedlichen interessierenden Elementen Farben zu, so können farbige, landkartenähnliche Verteilungsbilder der Elemente (element mappings) erzeugt werden. Hierzu können sowohl die Signale der REM/EDX- als auch der REM/WDX-Analyse verwendet werden (REM; REM/EDX; REM/WDX)